石英を通して半導体をサポートする株式会社石本商會



石本商會-製品紹介 石本商會-取扱品目 石本商會-会社案内 石本商會-お問合せ
石英を通して半導体をサポートする株式会社石本商會
石英を通して半導体をサポートする株式会社石本商會 石英を通して半導体をサポートする株式会社石本商會
石英製品・セラミック製品・樹脂製品・再生事業・その他
石英製品 石英製品
石英製品
石英製品
石英製品
石英製品
石英製品
石英製品
石英製品
セラミック製品 セラミック製品
セラミック製品
樹脂製品 樹脂製品
樹脂製品
接着剤 接着剤
接着剤
熱電対・真空乾燥機・各種ガラス 熱電対・真空乾燥機・各種ガラス
熱電対・真空乾燥機・各種ガラス
熱電対・真空乾燥機・各種ガラス
熱電対・真空乾燥機・各種ガラス
技術情報 技術情報


▼お問合せはこちら▼

芦屋花倶楽部


ホーム > 製品紹介 > 石英製品 > 半導体用
製品紹介-石英製品・セラミック製品・樹脂製品・その他
石英製品の中でも主に、各種半導体工業用製品に利用されている当社取扱製品をご紹介いたします。
石英ガラスウール 石英ガラスウール
透明石英ガラスを原料として微細な繊維からなり、他のウールに比べ、繊維の太さが均一で極めて純度が高く、耐薬品性および耐熱性に優れています。
石英ガラスウールは非常に細い繊維からなります。高温で長時間に亘り荷重を掛けると熱収縮します。1,100℃を限度としてのご使用をおすすめします。
※石英ガラスウールは、石綿(アスベスト)とはまったく異なる製品です。
種類
主たる繊維の太さ
主な用途例
Fine
2〜6ミクロン
ガスクロ用充填材、糸、紐、テープ、クロス
Coarse 4〜9ミクロン 長繊維で主に断熱材及びダストチューブ用
熱処理条件
1,000℃ 1hr
1,200℃ 1hr
1,300℃ 1hr
収縮率
0%
10%
30 %

フォトマスク・液晶用(TFT)基板 フォトマスク・液晶用(TFT)基板
半導体IC・LSI製造プロセスのリソグラフィーでは近紫外波長が採用されています。合成石英ガラスは、フォトマスクとして最適です。
サブストレート 合成石英ガラス板を光学精密研磨仕上したものです。
ブランクス サブストレートの表面にクロム系金属皮膜を均質に形成したものです。
コードNo. タテ・ヨコ寸法 厚さ
5009 126.6×126.6 2.30
6009 152.0×152.0 2.30
6012 152.0×152.0 3.05
6015 152.0×152.0 3.30
6025 152.0×152.0 6.35
  寸法公差±0.2 厚さ公差±0.1
フォトマスク用ブランクスは、サブストレートの表面に、クロム系金属被膜を均質に
形成したものです。特殊成膜品も製造いたします。成膜材質と光学仕様をご指定ください。
マスクの端面仕上について特にご指定なさるときは、面粗さ、カット角度などをご
明示ください。
  製品 寸法
直径 オリフラ 板厚
5"ウェハー 無水合成1 125mm 42.5mm 0.625mm
6"ウェハー 無水合成2 150mm 47.5mm 0.625mm
無水合成3 150mm 47.5mm 0.80mm
8"ウェハー 無水合成4 200mm 0.80mm 0.80mm
公差 直径公差±0.1mm オリフラ公差±1.0mm 板厚公差±0.05mm
オプティカル用に合成研磨基板もあります。
<丸型サブストレート例> 
丸型サブストレートもカスタマイズして製造しております。

サイズ 厚さ
125 t1.00
125 t2.00
125 t3.00
公差±0.3mm 公差±0.05mm

<初期特性> 材質 合成石英(有水合成グレード)
  平行度 20μm以下
  表面粗度 Ra≦Å
  平面度 λ(P−P)以下

炉芯管・治具類 炉芯管・治具類
半導体製造プロセスCVD工程や拡散工程に不可欠な石英ガラス製炉芯管 ボート、フォーク等はデバイスの高度化の中で、高耐熱、高純度、パーティクル対策等、日々高品質化しております。
当社は、最新の測定技術と実績ある加工技術で高度なご要望にお応えしております。

ベルジャー ベルジャー
エッチング加工技術は、IC、LSIへとデバイスの高度化をもたらしました。その一翼を担うのが当社の石英ガラスベルジャーであり、その精度、加工技術共に国内外で高い評価を受けております。

石英ボート
石英ボート
ウエハプロセスに使用する石英ボートです。ウエハ自動移載用高精度の縦型・横型からマニュアル移載用まで製作しております。

洗浄工程用石英治具 洗浄工程用石英治具
薬液処理や超純水処理などの洗浄工程に使用します。
ご要望に合わせて様々な形状の製品も製作いたします。


☆ご要望により各種寸法にて製作承ります。


Copyright(C) 2004 ISIMOTO CO., LTD. All Rights Reserved.
石英を通して半導体をサポートする株式会社石本商會 石英を通して半導体をサポートする株式会社石本商會