石英製品
石英ガラス素材
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石英ガラス管・棒類
半導体用
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石英ガラスウール
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フォトマスク基板
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炉芯管/治具類
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ベルジャー
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石英ボート
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洗浄工程用石英治具
光学用
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光学用石英
ガラス基板(基盤)
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合成石英
ガラス基板(基盤)
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光学用レンズ
プリズム
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分光光度計用
各種セル
研削・研磨製品
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研削・研磨製品
(加工品)
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研削製品(加工品)
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研磨製品(加工品)
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光学用レンズ
プリズム
理化学用
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ビーカー
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フラスコ
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ルツボ
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蒸発皿
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時計皿
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試験管
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ナス型フラスコ
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3ツ口フラスコ
製品取扱注意事項
セラミック製品
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アルミナ治工具
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SiC製品
樹脂製品
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ゴムOリング
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ふっ素樹脂製
切削加工品
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ふっ素樹脂製角槽
接着剤
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ノーランドUV硬化型
電子部品用接着剤(NEA)
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ノーランドUV硬化型
光学部品用接着剤(NOA)
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ムロマックボンド
製品取扱注意事項
その他
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半導体用
石英製品の中でも主に、各種半導体工業用製品に利用されている当社取扱製品をご紹介いたします。
石英ガラスウール
フォトマスク・液晶(TFT)基板
炉芯管・治具類
ベルジャー
石英ボート
洗浄工程用石英治具
石英ガラスウール
透明石英ガラスを原料として微細な繊維からなり、他のウールに比べ、繊維の太さが均一で極めて純度が高く、耐薬品性および耐熱性に優れています。
石英ガラスウールは非常に細い繊維からなります。高温で長時間に亘り荷重を掛けると熱収縮します。1,100℃を限度としてのご使用をおすすめします。
※石英ガラスウールは、石綿(アスベスト)とはまったく異なる製品です。
種類
主たる繊維の太さ
主な用途例
Fine
2〜6ミクロン
ガスクロ用充填材、糸、紐、テープ、クロス
Coarse
4〜9ミクロン
長繊維で主に断熱材及びダストチューブ用
熱処理条件
1,000℃ 1hr
1,200℃ 1hr
1,300℃ 1hr
収縮率
0%
10%
30 %
フォトマスク・液晶用(TFT)基板
半導体IC・LSI製造プロセスのリソグラフィーでは近紫外波長が採用されています。合成石英ガラスは、フォトマスクとして最適です。
サブストレート
合成石英ガラス板を光学精密研磨仕上したものです。
ブランクス
サブストレートの表面にクロム系金属皮膜を均質に形成したものです。
コードNo.
タテ・ヨコ寸法
厚さ
5009
126.6×126.6
2.30
6009
152.0×152.0
2.30
6012
152.0×152.0
3.05
6015
152.0×152.0
3.30
6025
152.0×152.0
6.35
寸法公差±0.2
厚さ公差±0.1
フォトマスク用ブランクスは、サブストレートの表面に、クロム系金属被膜を均質に
形成したものです。特殊成膜品も製造いたします。成膜材質と光学仕様をご指定ください。
マスクの端面仕上について特にご指定なさるときは、面粗さ、カット角度などをご
明示ください。
製品
寸法
直径
オリフラ
板厚
5"ウェハー
無水合成1
125mm
42.5mm
0.625mm
6"ウェハー
無水合成2
150mm
47.5mm
0.625mm
無水合成3
150mm
47.5mm
0.80mm
8"ウェハー
無水合成4
200mm
0.80mm
0.80mm
公差
直径公差±0.1mm
オリフラ公差±1.0mm
板厚公差±0.05mm
オプティカル用に合成研磨基板もあります。
<丸型サブストレート例>
※
丸型サブストレートもカスタマイズして製造
しております。
サイズ
厚さ
125
t1.00
125
t2.00
125
t3.00
公差±0.3mm
公差±0.05mm
<初期特性>
材質
合成石英(有水合成グレード)
平行度
20μm以下
表面粗度
Ra≦Å
平面度
λ(P−P)以下
炉芯管・治具類
半導体製造プロセスCVD工程や拡散工程に不可欠な石英ガラス製炉芯管 ボート、フォーク等はデバイスの高度化の中で、高耐熱、高純度、パーティクル対策等、日々高品質化しております。
当社は、最新の測定技術と実績ある加工技術で高度なご要望にお応えしております。
ベルジャー
エッチング加工技術は、IC、LSIへとデバイスの高度化をもたらしました。その一翼を担うのが当社の石英ガラスベルジャーであり、その精度、加工技術共に国内外で高い評価を受けております。
石英ボート
ウエハプロセスに使用する石英ボートです。ウエハ自動移載用高精度の縦型・横型からマニュアル移載用まで製作しております。
洗浄工程用石英治具
薬液処理や超純水処理などの洗浄工程に使用します。
ご要望に合わせて様々な形状の製品も製作いたします。
☆ご要望により各種寸法にて製作承ります。
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