石英を通して半導体をサポートする株式会社石本商會



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製品紹介-石英製品・セラミック製品・樹脂製品・その他
<技術情報>
平面度 JIS規格によると「平面度とは、お互いに平行な二つの平面の間の空間を表す」と
規定されています。
測定方法
(A)オプチカルフラットによる測定
完全に、平坦な基準原器(オプチカルフラット)とワークを接触させ、短波長光源を当てることにより光学的に干渉縞を発生させ、その干渉縞により平面度を測定するものです。
面粗度が鏡面まで出ていない場合は、光学測定は出来ませんので、3点ゲージによる測定となります。

(B)レーザー干渉計による測定
Aのオプチカルフラットによる測定では、接触式なので、どうしてもワークに傷が入ります。そこで、非接触式の測定器が開発されて、一般に実用化されています。原理はレーザービームをオプチカルフラットに反射させて干渉縞を発生させ、平面度を測定します。非接触なので、ワークに傷をつけない等のメリットがありますが、高価であることが欠点です。

(C)3点ゲージによる測定
精度的には、光学式干渉計が優れていますが、ミクロンオーダーであれば、3点ゲージ測定で大まかな数字をつかむことができます。


表面粗さ JIS規格には、「工業製品の表面粗さを表す中心線平均粗さ(Ra)、最大高さ
(Rmax)、及び十点平均粗さ(Rz)の定義と表示について規定する」とあります。
測定方法
(A)接触式面粗さ計による測定
針圧100mg程度の面粗さ計を用いますが、柔らかいワークには傷をつける恐れがあります。

(B)非接触式面粗さ計による測定
ワークに傷をつけないというメリットがありますが、高価であることが欠点です。


平行度 JIS規格には、「平行度とは、基準平面に平行なある間隔を持つ、お互いに平行な
二つの平面の間の空間を表す」と規定されています。
測定方法
(A)マイクロメーターによる測定
現在のところ、平行度を専門に且つ正確に測定する機器は有りません。よって全体の総厚みをマイクロメーター又はハイトゲージで測定し、その差を読み取ります。


平面度の表示
一般に「λ」を単位に表示されます。
平面の凹凸の出っ張ったところとへこんだところの高低差を測定する光の波長を単位として表示するもので、一般に使用されている、波長632.8nmのHe-Neレーザービームの場合は、5λ=3.2μm λ=632.8nm λ/10=63nmとなります。

表面粗度の表示
一般に中心線平均粗さ「Ra」にて表示されます。
中心線平均粗さRaは、粗さ曲線を中心線から折り返し、その粗さ曲線と中心線によって得られた面積を測定長さで割った値をμmで表すものです。

三角記号と中心線平均粗さ(Ra)の比較
三角記号と中心線平均粗さ(Ra)の比較


ニュートンリング
平面ガラス板の上に曲率半径の大きな凸レンズをのせ、真上から単色光を入射させると同心円状の干渉縞が生じる。この縞を発見したニュートンの名前からニュートンリングと呼ばれる。これは、レンズの下面で反射した光と平面ガラスで反射した光とが干渉することによって発生する。基準の平行平面ガラスを用いて研磨したガラスの平面度を測定するのに利用されている。






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